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本文介绍了钛酸锶钡薄膜在调谐性能方面的研究进展，重点分析了其介电特性、铁电性能及结构优化对器件性能的影响。研究涉及薄膜制备工艺、掺杂改性及器件设计等方面，为高密度集成器件提供了理论支持和技术参考。该论文发表于2012年综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心学术年会，具有重要的学术价值和应用前景。 文档为pdf格式，0.85MB，总共7页。
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- 钛酸锶钡薄膜调谐性能研究进展 - 综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中 ...
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