该论文介绍了通过溅射法制备自对准顶栅结构的a-IGZO TFTs的研究。文章详细描述了工艺流程,重点在于利用自对准技术提高器件性能和稳定性。研究结果表明,所制备的TFT具有良好的电学特性,为高性能平板显示器件提供了新的制造方法。
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