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退火前预处理对半绝缘砷化镓晶片光电性能的影响 - 第十 ...
退火前预处理对半绝缘砷化镓晶片光电性能的影响 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf
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2025-12-14 20:23
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本文研究了退火前预处理对半绝缘砷化镓晶片光电性能的影响。通过不同预处理方法,分析其对材料电学和光学特性的影响,结果表明适当的预处理可显著改善晶片的光电性能,为提高器件性能提供了有效途径。
文档为pdf格式,0.65MB,总共3页。
2025-12-14 20:26 上传
退火前预处理对半绝缘砷化镓晶片光电性能的影响 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf
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退火前预处理对半绝缘砷化镓晶片光电性能的影响 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会 ...
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