该论文研究了调制比对C_C多层膜结构及性能的影响,通过改变沉积参数调控多层膜的层厚比例,分析其对薄膜微观结构和力学性能的影响。结果表明,调制比显著影响膜层的致密性和界面结合强度,进而影响硬度和耐磨性。研究为优化C_C多层膜的性能提供了理论依据和技术支持。
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