自支撑金属超薄膜厚度的测量技术 - 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

论文《自支撑金属超薄膜厚度的测量技术》介绍了用于测量自支撑金属超薄膜厚度的新方法。该文针对传统测量手段在微小尺度下的局限性，提出了一种高精度的测量技术，适用于纳米级薄膜的厚度分析。通过实验验证，该方法具有较高的准确性和可靠性，为微电子和精密制造领域提供了重要的技术支持。

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2025-12-14 20:00 上传 自支撑金属超薄膜厚度的测量技术 - 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

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