缓冲层对BST薄膜结构及性能的影响 - 综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会.pdf

该论文研究了缓冲层对BST薄膜结构及性能的影响，通过实验分析不同缓冲层对薄膜结晶质量、介电性能和微观结构的影响。结果表明，合适的缓冲层可以显著改善BST薄膜的性能，提高其介电常数和介电损耗特性。该研究为BST薄膜在高密度集成器件中的应用提供了理论支持和技术参考。

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2025-12-14 19:50 上传 缓冲层对BST薄膜结构及性能的影响 - 综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会.pdf

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