论文《石英振梁谐振器电学参数有限元分析及优化》针对石英振梁谐振器的电学参数进行有限元仿真与优化研究。通过建立三维模型,分析其电容、电感等关键参数,提出优化设计方案以提高器件性能。研究为谐振器的结构设计和性能提升提供了理论依据和技术支持,对微机电系统的发展具有重要意义。
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