直线超声电机驱动的精密运动台的位移分辨率实验 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会.pdf

本文介绍了直线超声电机驱动的精密运动台的位移分辨率实验。通过实验分析了电机在不同驱动参数下的位移性能，验证了其在微米级精度下的稳定性与可靠性。研究结果为超声电机在精密加工和自动化控制领域的应用提供了理论依据和技术支持。

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2025-12-14 19:29 上传 直线超声电机驱动的精密运动台的位移分辨率实验 - 第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会.pdf

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