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论文《电子束物理气相沉积设备的研制及应用研究》介绍了电子束物理气相沉积技术的设备研发及其在材料制备中的应用。该研究针对传统工艺的不足，设计并优化了电子束沉积系统，提高了沉积效率和薄膜质量。通过实验验证，该设备在制备高纯度、高性能薄膜方面表现出良好效果，为相关领域的研究与工业应用提供了技术支持。 文档为pdf格式，0.08MB，总共1页。
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- 电子束物理气相沉积设备的研制及应用研究 - 2012年中国压铸、挤压铸造、半固态加工学术年会.pdf ...
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