论文《烧结温度对AZO热压靶材性能影响研究》探讨了不同烧结温度对AZO(铝掺杂氧化锌)热压靶材微观结构和性能的影响。研究结果表明,随着烧结温度的升高,靶材的密度和导电性显著提高,但过高的温度可能导致晶粒异常生长,影响其均匀性。该研究为优化AZO靶材的制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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