烧结温度对AZO热压靶材性能影响研究 - 北京金属学会第七届北京冶金年会.pdf

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2025-12-14 19:05 | 查看全部 阅读模式

论文《烧结温度对AZO热压靶材性能影响研究》探讨了不同烧结温度对AZO(铝掺杂氧化锌)热压靶材微观结构和性能的影响。研究结果表明,随着烧结温度的升高,靶材的密度和导电性显著提高,但过高的温度可能导致晶粒异常生长,影响其均匀性。该研究为优化AZO靶材的制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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烧结温度对AZO热压靶材性能影响研究 - 北京金属学会第七届北京冶金年会
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