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源气浓度对CVD ZrC涂层的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2025-12-14 18:59 | 查看全部阅读模式

论文《源气浓度对CVD ZrC涂层的影响》探讨了在化学气相沉积过程中，源气浓度对ZrC涂层性能的影响。研究通过调整前驱体气体的浓度，分析其对涂层结构、成分及质量的影响，为优化CVD工艺提供了理论依据和技术支持。

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涂层, 浓度, 年会, 高技术, 陶瓷

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