浅析四氯化硅低温氢化在多晶硅生产中的应用 - 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会.pdf

论文《浅析四氯化硅低温氢化在多晶硅生产中的应用》探讨了四氯化硅在多晶硅生产中低温氢化技术的应用。文章分析了该技术对提高生产效率和降低能耗的潜在价值，提出了优化工艺参数的建议。研究为多晶硅生产的绿色化和高效化提供了理论支持和技术参考。

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2025-12-14 18:40 上传 浅析四氯化硅低温氢化在多晶硅生产中的应用 - 第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会.pdf

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