沉积参数对磁控溅射沉积Ti-B-C薄膜力学性能的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

论文《沉积参数对磁控溅射沉积Ti-B-C薄膜力学性能的影响》探讨了不同沉积条件下Ti-B-C薄膜的力学性能变化。通过调整溅射功率、气体比例和基底温度等参数，研究其对薄膜硬度、弹性模量及结合力的影响。结果表明，优化沉积参数可显著提升薄膜的综合性能，为高性能功能薄膜的制备提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式，0.23MB，总共4页。

2025-12-14 18:31 上传 沉积参数对磁控溅射沉积Ti-B-C薄膜力学性能的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

文件大小:

235.52 KB

下载次数:

60

沉积参数对磁控溅射沉积Ti-B-C薄膜力学性能的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf ...

高速下载