该论文研究了沉积温度对脉冲化学液气相沉积工艺制备C_SiC复合材料力学性能及微观结构的影响。通过调整沉积温度,发现材料的硬度、断裂韧性等力学性能显著变化,同时微观结构如晶粒尺寸和分布也受到影响。研究结果为优化C_SiC复合材料的制备工艺提供了理论依据。
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