论文《新型多晶硅锭坩埚涂层用氧氮化硅粉体的合成》介绍了用于多晶硅生产中坩埚涂层的新材料。该研究通过特定工艺合成了氧氮化硅粉体，提升了坩埚的耐高温性能和使用寿命。文章详细阐述了合成方法、材料结构及性能测试结果，为提高多晶硅生产效率和质量提供了理论支持和技术参考。
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