基于自组装单分子层技术的单晶硅表面化学镀镍工艺优化 - 第十一届全国化学镀会议.pdf

论文《基于自组装单分子层技术的单晶硅表面化学镀镍工艺优化》探讨了利用自组装单分子层（SAMs）技术改善单晶硅表面化学镀镍的工艺。通过优化SAMs的制备条件和镀液配方，提高了镀层的均匀性和结合力。研究为半导体器件制造提供了新的表面处理方法，具有重要的应用价值。

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2025-12-14 16:56 上传 基于自组装单分子层技术的单晶硅表面化学镀镍工艺优化 - 第十一届全国化学镀会议.pdf

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