该论文介绍了基于昆虫振动感受器原理设计的谐振式硅微机械压力传感器。通过模仿昆虫对振动的敏感特性，提出了一种新型结构方案，提高了传感器的灵敏度和响应速度。研究采用硅微加工技术实现微型化，具有良好的线性度和稳定性，适用于高精度压力测量领域。
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