论文《垂直扫描白光干涉仪控制系统研究》发表于第23届过程控制会议，主要探讨了白光干涉仪在垂直扫描过程中的控制策略与系统设计。文章分析了系统的关键技术，包括信号处理、位移控制及误差补偿方法，旨在提高测量精度和稳定性。研究成果对精密测量领域具有重要应用价值，为相关设备的优化提供了理论支持。
举报
