论文《含氟电子气体研究进展》介绍了含氟电子气体在半导体制造中的重要作用及最新研究动态。文章总结了多种含氟气体的物理化学性质、制备方法及其在刻蚀和沉积工艺中的应用。同时，对含氟气体的安全性、环境影响及储存运输技术进行了探讨，为相关领域的技术发展提供了参考依据。
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