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论文《半导体制造执行系统研究》发表于2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议，主要探讨了半导体制造执行系统（MES）的核心功能与实现方法。文章分析了MES在半导体生产中的关键作用，包括生产调度、过程控制和数据采集等，并提出了一种基于集成化思想的系统架构。研究为提升半导体制造效率和管理水平提供了理论支持与实践指导。 文档为pdf格式，0.48MB，总共6页。
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- 半导体制造执行系统研究 - 2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议.pdf
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