论文《全氢聚硅氮烷制备SiOx涂层及其性能研究》介绍了利用全氢聚硅氮烷作为前驱体，通过化学气相沉积法在基材表面制备SiOx涂层的工艺。研究分析了涂层的结构、形貌及性能，包括热稳定性、抗氧化性和机械强度等。结果表明，该方法制备的SiOx涂层具有良好的综合性能，为高性能陶瓷涂层的应用提供了新思路。
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