本文研究了不同温度下制备的AZO薄膜的结构及光电性能。通过改变沉积温度，分析了薄膜的晶体结构、表面形貌和光学特性。实验结果表明，随着温度升高，薄膜的结晶质量提高，电阻率降低，透光率有所改善。该研究为优化AZO薄膜的制备工艺提供了理论依据，对平板显示器件的开发具有重要意义。
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