一种基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计 - 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

该论文介绍了基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计，旨在提高测量精度与灵敏度。通过优化光学系统和机械结构，实现了更稳定的探针定位与信号采集。该设计在2012年全国几何量精密测量技术学术交流会上发表，为原子力显微镜的发展提供了新的思路和技术支持。

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2025-12-14 15:06 上传 一种基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计 - 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会.pdf

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