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Zinc Oxide Thin Film Transistors Fabricated by R.F. Magnetron Sputtering Using a Compact Powder Target - 2012中国平板显示学术会议.pdf

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论文《Zinc Oxide Thin Film Transistors Fabricated by R.F. Magnetron Sputtering Using a Compact Powder Target》介绍了通过射频磁控溅射技术制备氧化锌薄膜晶体管的方法。该研究采用紧凑粉末靶材，提高了薄膜的均匀性和性能。文章详细讨论了工艺参数对器件电学特性的影响，为柔性电子和显示技术提供了新的思路。

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Zinc Oxide Thin Film Transistors Fabricated by R.F. Magnetron Sputtering Using a Compact Powder Target - 2012中国平板显示学术会议

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