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VHF VHF-PECVD 技术制备平米级非晶硅硅_非晶硅锗锗_微晶硅电池的研究 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12).pdf

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2025-12-14 14:59 | 查看全部阅读模式

该论文介绍了采用VHF VPECVD技术制备平米级非晶硅/非晶硅锗/微晶硅电池的研究成果。通过优化沉积工艺，提高了薄膜质量与电池效率。研究针对大面积太阳能电池的制备技术进行了深入探讨，为高效、低成本光伏器件的开发提供了理论依据和技术支持。

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VHF VHF-PECVD 技术制备平米级非晶硅硅_非晶硅锗锗_微晶硅电池的研究 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

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