该论文介绍了通过Ti+离子注入结合热退火方法制备二氧化钛薄膜的研究。研究旨在改善薄膜的结构与性能，探讨了不同注入参数及退火条件对薄膜微观结构和光学性质的影响。实验结果表明，适当处理可有效提高薄膜的结晶质量和稳定性，为高性能光电器件的应用提供了理论支持和技术参考。
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