论文《MOCVD尾气中氨气的回收和循环利用》介绍了在MOCVD工艺中尾气中氨气的回收技术及循环利用方法。通过高效吸收与分离技术,实现氨气回收率的提升,降低生产成本和环境污染。该研究对推动绿色化工和资源循环利用具有重要意义,为特种气体行业提供了可行的技术支持。
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