GD09-015MEMS扫描激光外差干涉仪及其相位IQ正交解调算法研究 - 第10届全国光电技术学术交流会.pdf

论文《GD09-015MEMS扫描激光外差干涉仪及其相位IQ正交解调算法研究》介绍了基于MEMS技术的激光外差干涉仪的设计与实现。该研究提出了一种相位IQ正交解调算法，有效提高了干涉信号的解调精度与稳定性。通过实验验证，系统在测量精度和响应速度方面表现出良好性能，为高精度光学测量提供了新思路。

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2025-12-14 14:41 上传 GD09-015MEMS扫描激光外差干涉仪及其相位IQ正交解调算法研究 - 第10届全国光电技术学术交流会.pdf

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