(NH4)2Sx_NH4SCN溶液钝化InAs(100)表面的研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

本文研究了(NH4)2Sx_NH4SCN溶液对InAs(100)表面的钝化效果。通过实验分析，探讨了不同浓度和处理时间对表面形貌及电学性能的影响。结果表明，该溶液能有效减少表面缺陷，改善器件性能，为InAs基器件的制备提供了新的钝化方法。

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2025-12-14 14:24 上传 (NH4)2Sx_NH4SCN溶液钝化InAs(100)表面的研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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