|
论文《聚合物波导形貌的等离子体刻蚀工艺优化研究》探讨了通过等离子体刻蚀技术优化聚合物波导的形貌结构。研究针对不同材料和工艺参数进行了系统实验，分析了刻蚀速率、侧壁角度及表面粗糙度等关键因素对波导性能的影响。结果表明，合理控制气体比例、功率及刻蚀时间可显著提升波导质量，为高性能聚合物光子器件的制造提供了理论依据和技术支持。 文档为pdf格式，1.08MB，总共7页。
- 文件大小:
- 1.08 MB
- 下载次数:
- 60
- 聚合物波导形貌的等离子体刻蚀工艺优化研究 - 第七届全国塑料光纤与聚合物光子学会议.pdf ...
-
高速下载
| 
