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本文研究了C及Al含量对Ti-Al-Si-C-N硬质薄膜微观结构和力学性能的影响。通过改变C和Al的添加比例,分析了薄膜的晶粒尺寸、相组成及硬度等性能变化。结果表明,适量的C和Al可以优化薄膜的微观结构,提高其硬度和耐磨性,为高性能硬质薄膜的设计与制备提供了理论依据。 文档为pdf格式,1.06MB,总共11页。
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- C及Al含量对Ti-Al-Si-C-N硬质薄膜微观结构和力学性能的影响 - 第5届海内外中华青年材料科学技术研讨会暨第1 ...
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