C及Al含量对Ti-Al-Si-C-N硬质薄膜微观结构和力学性能的影响 - 第5届海内外中华青年材料科学技术研讨会暨第13届全国青年材料科学技术研讨会.pdf

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2026-7-8 07:39 | 查看全部阅读模式

本文研究了C及Al含量对Ti-Al-Si-C-N硬质薄膜微观结构和力学性能的影响。通过改变C和Al的添加比例，分析了薄膜的晶粒尺寸、相组成及硬度等性能变化。结果表明，适量的C和Al可以优化薄膜的微观结构，提高其硬度和耐磨性，为高性能硬质薄膜的设计与制备提供了理论依据。

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