高纯氖中杂质含量的测定 - 全国特种气体第十五次年会.pdf

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论文《高纯氖中杂质含量的测定》在全国特种气体第十五次年会上发表,主要探讨了高纯氖气中微量杂质的检测方法。文章介绍了采用气相色谱法和质谱联用技术对氖气中氮、氧、氩等杂质进行定量分析,确保其纯度满足半导体和光学器件等高端领域的需求。研究为高纯气体的生产与质量控制提供了可靠的技术支持。

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高纯氖中杂质含量的测定 - 全国特种气体第十五次年会
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