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随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响 - 第十届全国振动理论及应用学术会议.pdf

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2025-12-14 10:11 | 查看全部阅读模式

论文《随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响》探讨了表面粗糙度对微型机电系统（MEMS）径向气体轴承性能的影响。通过分析不同粗糙度参数对轴承承载能力、刚度和稳定性的影响，研究揭示了表面形貌在微尺度下的重要性。该研究为优化MEMS气体轴承设计提供了理论依据和技术支持。

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随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响 - 第十届全国振动理论及应用学术会议

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学术会议, 气体, 轴承, 表面, 性能

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