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该论文介绍了氧化铟锡（ITO）溅射靶材的制备过程及其微结构分析，旨在提高其性能和应用效果。研究通过粉末冶金方法制备了ITO靶材，并利用显微镜和X射线衍射等技术对其微观结构进行了详细分析。结果表明，靶材的密度、晶粒大小及分布对其性能有重要影响。该研究为ITO靶材的优化设计和实际应用提供了理论依据和技术支持。 文档为pdf格式，0.87MB，总共11页。
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- 錮錫氧化物(ITO)濺鍍靶材之製備與微結構分析 - 2011全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会.pdf ...
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