采用VHF-PECVD技术制备大面积PPPP型微晶硅材料 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

论文《采用VHF-PECVD技术制备大面积PPPP型微晶硅材料》介绍了利用VHF-PECVD技术制备大面积PPPP型微晶硅材料的方法。研究重点在于优化工艺参数，提高材料的均匀性和质量。该技术为太阳能电池和半导体器件提供了高性能的硅基材料，对推动可再生能源技术发展具有重要意义。

文档为pdf格式，0.2MB，总共4页。

2025-12-14 09:47 上传 采用VHF-PECVD技术制备大面积PPPP型微晶硅材料 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

文件大小:

204.8 KB

下载次数:

60

采用VHF-PECVD技术制备大面积PPPP型微晶硅材料 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf ...

高速下载