论文《超宽网带炉的均匀性研究分析》探讨了超宽网带炉在集成电路制造中的温度均匀性问题。通过实验与模拟分析，研究者评估了不同结构参数对炉内温度分布的影响，提出了优化方案以提高热场均匀性。该研究对提升器件性能和可靠性具有重要意义，为相关工艺改进提供了理论依据和技术支持。
举报
