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本文介绍了苄叉烷烃酮类双光子敏化生酸体系在正性光刻胶中的应用。该体系利用双光子吸收特性，实现高精度微纳加工。研究显示，该生酸体系具有良好的光敏感性和热稳定性，适用于高分辨率光刻工艺。通过优化配方，提高了光刻胶的灵敏度和成像质量，为先进光刻技术提供了新的解决方案。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.69MB，总共2页。
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- 苄叉烷烃酮类双光子敏化生酸体系在正性光刻胶中的应用 - 中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会. ...
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