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聚酰亚胺_SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究 - 第十三届全国工程电介质学术会议.pdf

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论文《聚酰亚胺_SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究》探讨了通过溶胶-凝胶法和真空蒸镀技术制备聚酰亚胺与SiO2-Al2O3复合薄膜的工艺。研究重点分析了各层材料的结构与性能，优化了制备参数，以提高薄膜的介电性能和热稳定性。该研究对高性能电介质材料的开发具有重要意义。

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聚酰亚胺_SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究 - 第十三届全国工程电介质学术会议

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电介质, 聚酰亚胺, 学术会议, 薄膜, 工艺

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