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该论文探讨了缓蚀剂在化学机械抛光液中对铜的保护作用，旨在提高抛光过程中的材料保护效果。研究通过实验分析不同缓蚀剂对铜表面腐蚀的抑制能力，评估其在抛光液中的应用性能。结果表明，合适的缓蚀剂能够有效减少铜的腐蚀速率，提升抛光质量与效率。文章为开发环保型抛光液提供了理论依据和技术支持，对推动绿色防锈润滑包装技术发展具有重要意义。 文档为pdf格式，0.14MB，总共2页。
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- 缓蚀剂对化学机械抛光液中铜的保护作用 - 2011全国(武汉)防锈润滑包装学术交流大会暨防锈专业委员会第五届 ...
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