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论文《纳米压印技术制作DFB半导体激光器》介绍了利用纳米压印技术制备分布式反馈(DFB)半导体激光器的方法。该技术具有高精度、低成本和高效率等优势,适用于大规模生产。文章详细阐述了纳米压印工艺流程及其在激光器光栅结构制造中的应用,展示了其在提升器件性能方面的潜力,为高性能半导体激光器的开发提供了新思路。 ","role":"assistant文档为pdf格式,0.94MB,总共5页。
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- 纳米压印技术制作DFB半导体激光器 - 第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会.pdf ...
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