磁悬浮分子泵转轴位置测量系统实现 - 2011北京真空学会真空学术交流会.pdf

论文《磁悬浮分子泵转轴位置测量系统实现》介绍了用于测量磁悬浮分子泵转轴位置的系统设计与实现。该系统通过高精度传感器和信号处理技术，实现了对转轴位置的实时监测，提高了分子泵运行的稳定性和可靠性。研究为磁悬浮技术在真空设备中的应用提供了重要技术支持，具有实际工程价值。

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2025-12-14 08:38 上传 磁悬浮分子泵转轴位置测量系统实现 - 2011北京真空学会真空学术交流会.pdf

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