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该论文研究了通过磁控溅射法制备的Er-Si共掺ZnO多层膜的光致发光特性。实验结果表明，Er和Si的共同掺杂有效改善了ZnO的光学性能，增强了可见光区的发光强度。研究还探讨了不同掺杂比例对PL特性的影响，为开发新型光电子器件提供了理论依据。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.28MB，总共3页。
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- 磁控溅射制备的Er_Si共掺ZnO多层膜的PL特性的研究 - 2011年全国硅基光电子材料及器件研讨会.pdf ...
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