论文《硅碳氧薄膜光学性能研究》发表于TFC‘2011全国薄膜学术研讨会，主要探讨了硅碳氧（SiCO）薄膜的光学特性。研究通过不同制备条件下的实验，分析了薄膜的折射率、消光系数及透过率等关键参数。结果表明，SiCO薄膜具有优良的光学性能，适用于多种光电应用。该研究为新型光学薄膜材料的开发提供了理论依据和技术支持。
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