硅电容压力传感器及其产业化 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议.pdf

论文《硅电容压力传感器及其产业化》探讨了硅电容压力传感器的工作原理、设计方法及应用前景。文章分析了其在高精度测量中的优势，并介绍了相关技术的产业化进程。通过实验与实际应用，验证了该传感器的稳定性与可靠性，为推动我国仪器仪表行业的发展提供了理论支持与实践参考。

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2025-12-14 08:36 上传 硅电容压力传感器及其产业化 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议.pdf

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