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论文《硅基力敏传感器及其工业应用》探讨了硅基力敏传感器的工作原理、设计方法及在工业中的实际应用。文章分析了硅材料在传感器制造中的优势，如高灵敏度和稳定性，并介绍了其在智能制造、自动化控制等领域的广泛应用。该研究为提高工业测量精度和可靠性提供了理论支持和技术参考，对推动我国仪器仪表技术发展具有重要意义。 文档为pdf格式，0.66MB，总共9页。
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- 硅基力敏传感器及其工业应用 - 中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表 ...
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