本文介绍了扫描超声显微技术在集成电路缺陷检测中的应用。通过分析该技术的原理与实现方法，探讨了其在检测微小缺陷方面的优势。研究结果表明，该技术能够有效识别集成电路中的内部缺陷，提高检测精度和可靠性。文章为集成电路质量控制提供了新的技术手段，具有重要的工程应用价值。
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