论文《溅射气氛对氧化锌透明导电薄膜光学特性的影响》研究了不同溅射气氛下制备的氧化锌薄膜的光学性能。通过改变气体成分，分析其对薄膜透过率和折射率的影响。结果表明，溅射气氛显著影响薄膜的光学特性，优化气氛可提高薄膜的透光性与导电性，为透明导电材料的制备提供了理论依据。
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