|
论文《沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响》探讨了不同沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响。研究通过实验分析，发现沉积温度显著影响薄膜的结构和密度。随着温度升高，薄膜的致密性有所变化，这对材料性能有重要影响。该成果为优化薄膜制备工艺提供了理论依据。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.25MB，总共5页。
- 文件大小:
- 256 KB
- 下载次数:
- 60
- 沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响 - 长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会.pd ...
-
高速下载
| 
