氮化镓异质结高能电子辐照的电子背散射衍射研究 - 2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流会.pdf

该论文发表于2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流会，主要研究了氮化镓异质结在高能电子辐照下的微观结构变化。通过电子背散射衍射技术，分析了辐照后材料的晶体取向和缺陷分布，揭示了辐照对氮化镓异质结晶格结构的影响机制，为半导体器件的辐射损伤研究提供了重要参考。

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2025-12-14 06:54 上传 氮化镓异质结高能电子辐照的电子背散射衍射研究 - 2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流会.pdf

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