氧化诱生缺陷引起的栅极漏电失效及其改善方法 - 第二十五届中国(天津)2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议.pdf

论文《氧化诱生缺陷引起的栅极漏电失效及其改善方法》探讨了氧化过程中产生的缺陷导致栅极漏电失效的问题。通过分析缺陷形成机制，提出了相应的改善措施，以提高器件可靠性。该研究对提升半导体器件性能具有重要意义，为相关领域的技术发展提供了理论支持和实践指导。

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2025-12-14 06:53 上传 氧化诱生缺陷引起的栅极漏电失效及其改善方法 - 第二十五届中国(天津)2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议.pdf

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